劈尖干涉用于检测工件的平整度的研究
080403110 庞星
南京理工大学紫金学院电光系08四教电科1班
  摘要: 根据薄膜干涉的道理,可以测定平面的平直度.若使两个很平的玻璃板间有一个很小的角度,就构成一个楔形空气薄膜,用已知波长的单光入射产生的干涉条纹,条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明工件该处是一个凹;条纹远离顶角弯曲时,工件该处有一个凸起。
关键词: 薄膜干涉  南京理工大学紫金楔形空气薄膜  干涉 
Wedge interference detection of workpiece flatnes
080403110 Pang Xing
Zijin College of Nanjing University of Electro-Optical Division, Department 08 4 to teach a class
Abstract:  According to thin film interference token, can determine the plane flatness. If only between two very flat glass plate with a small angle, it constitutes a wedge-shaped air film, using the known wavelength of the incident monochromatic light produced by interference fringe, fringe wedge of apex angle to the side of bend note there is a concave workpiece; stripe bending away from the zenith, the workpiece where there is a bulge.
Keywords:  Thin film interference; Wedge-shaped air film; Interference
实验原理:将两块玻璃板n1和n2叠起来,在一端垫一细丝(或纸片), 两板之间形成一层空气膜,形成空气劈尖.a.形成与劈尖棱角平行,明暗相间的等厚条纹.观察劈尖干涉的实验装置如图1所示,从点光源S发出的光经透镜L变成平行光,在经过半透半反玻璃片M射向空气劈尖,自劈尖上下两表面反射后形成相干光,径路显微镜T,就能在劈尖上表面观察到明暗相间均匀分布的干涉条纹。如图2.  
设两玻璃板之间的夹角为q,玻璃的折射率为n1,空气的折射率为1.由于Q角很小,在实验中,单平行光几乎垂直地射向劈面,所以劈尖上下两表面的反射光线与入射光线近乎重合。设在P点出,劈尖对应的厚度e。因为n1>1,所以劈尖表面有半波损失.因此上下两表面反射光的光程差为:
           δ=2ne+λ/2
反射光是相干光,相干叠加明暗纹的条件是:
每一明条纹或暗条纹都与一定的K值对应,也就是与劈尖的厚度e相对应.
 在两玻璃片相接触处,劈尖的厚度e=0,由于半波损失的存在,所以在棱边处为暗条纹。任何相邻明条纹或暗条纹所对应的厚度差为:
e=λ/2n
我们分析实验采用空气劈尖,n=1。若相邻两条明条纹或暗条纹之间的距离为L,则可知:Lsinθ=λ/2n
因为角度很小,所以      L=λ/2nθ,      所以为使实验条纹凹凸明显,使θ小,L就越大,即干涉条纹越疏。当平面平整时,厚度均匀变化,条纹为直线。当显微镜中的图像有一凹,条纹是等厚的点的轨迹,凹就是厚度增加,于是这里的厚度等于比此处远离劈棱处(厚度为0
地方)的地方的厚度,远离劈棱的地方的轨迹偏到这里来,总体情况就是:条纹向劈棱方向偏。若有一凸,向远离劈棱的方向偏。
实验步骤:将两块玻璃板叠在一起,在一侧一细丝,将一束单光垂直照射到上玻璃板,在光学显微镜内观察干涉条纹。用图甲所示的空气劈尖检查工件表面的平整度,出现如图乙、丙所示的条纹。
  用干涉法检查平面,如图甲所示,两板之间形成一层空气膜,用单光从上向下照射,入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波,形成干涉条纹。如果被检测平面是光滑的,得到的干涉图样必是等距的。如果某处凹下去,则对应明纹(或暗纹)提前出现,如图乙所示;如果某处凸起来,则对应条纹延后出现,如图丙所示。(注:提前延后不是指在时间上,而是指由左向右的位置顺序上。)
  条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明工件该处是一个凹;条纹远离顶角弯曲时,工件该处有一个凸起。
实验误差分析:两玻璃板之间的角度要控制好,如若过大,将无法观察到实验现象,若过小,条纹将分辨不出来。其次,要注意劈尖的质量。本实验必须小心实验误差,否则将观察不到实验现象。
  实验总结 :在实验中,越来越注重实验的准确性,有些实验仪器必须保持一定的平整度,精确实验结果,在生活中,工厂生产的产品也注重产品的质量,提升产品的光洁度,运用劈尖干涉原理对产品的检测是一种很好的方法。
参考文献:《大学物理》  许三南 陆建 徐浦
          《大学物理实验》  姚安居 吴庆州